Product
Introduction
Romulus
Romulus는 반도체 제조 공정에서 박막 등 각종 재료 표면에 관한 강도시험, 평가를 위한 컴퓨터제어 테스터기입니다. 이 장비는 고도의 정확도와 신뢰성을 통해 반도체 생산의 효율성을 극대화합니다.
- 특성
- 모듈교환에 의한 다향한 측정가능
- 정량적 측정가능
- 밀착력 약 700kg/㎠까지 측정가능
- 최대 인장력하중은 100kg까지 가능 ( 옵션200kg까지 대응가능)
- 전용 소프트사용, 간단히 측정조건 설정과 측정결과 표시가능
제품 상세 설명
Stud Pin
Stud Pin은 반도체 패키지 내에서 칩과 기판을 전기적으로 연결하는 작은 금속 핀입니다.
이 핀은 높은 전도성과 안정성을 제공하여 반도체 장치의 성능과 신뢰성을 향상시킵니다.
Romulus
Romulus는 박막 등 각종재료표면에 관한 강도시험, 평가를 위한 컴퓨터제어 테스터기입니다. 다양한 형태의 밀착강도측정,
박막제조의 마이크로일렉트로닉공정검사, 재료의 성질검사, 각종 코팅막의 시험 등 표면의 밀착강도를 간단하게 평가가능한 세계표준기기입니다.
미국 Quad Group사는 1980년대에 로뮬러스의 전기종 세바스찬을 개발하고, 독자의 에폭시접착 제와 스터드핀을 사용한 인장력 시험에 의한 밀착강도 테스터로서 주목을 받았습니다.
최근은 반도체진화, 실장기판의 다층화, 박막형TV나 디지털기기의 고성능화 등에 동반하여 다양한 박막의 사용이 급증했습니다. 중요한 기계특성인 박막의 밀착강도측정의 필요성이
높아지면서 여러 방 식의 테스터기가 등장했습니다. 하지만, 하중을 걸어서 측정샘플과 스터드핀의 박리한 시점에서 하중을 정 량적으로 측정하는 로뮬러스는 정확성과 컴퓨터 제어에
의한 측정마라미터의 설정, 데이터보존, 표시 등 간단하게 할 수 있기 때문에 각종의 박막의 밀착성 측정에 최적입니다.
- 측정대상
- 컬러필터, 레지스터막, Low-k막, 박막태양전지막, 산화막, 도금막, DLC막 등의 박막밀착강도
- 복합기판의 밀착강도
- 코팅막의 끌어당기는 강도측정
- 고정한 다이 등의 선단강도측정
- Flexible기판의 박리강도(Peel Test)
박막밀착성 평가시험
Romulus는 Stud Pull 박리강도측정의 유일한 전용기입니다. Stud Pull 박리강도측정은 Pull Down Breaking Point Platform을 사용해서 자동적으로 하중을 걸어 인장시험을 합니다.
모식도에 있는 것처럼 시험기에 Stud Pin을 수직방향으로 인장하여 샘플이 지지대에 걸리면서 샘플에 하중을 겁니다. 그 결과 최종적으로 제일 약한 부분에서 박리가 일어납니다.
시험기는 그 박리시의 하중을 표시합니다. 박리장소를 특정하고 기판과 박막의 사이에서 박리가 일어나면 박리시의 하중이 그 박막의 밀착력이 됩니다.
이 시험기를 사용하는 이점의 하나는 복수의 측정자가 사용해도 측정결과가 변하지 않는 것입니다.
또, 측정자체가 간단해서 많은 유저들이 사용하기 편리하고 다양한 박막과 복합재료의 밀착력의 측정에 사용되고 있습니다.
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Pull Down Breaking Point Test (인장력시험) 
<모식도> -
측정은 측정기 본체, 컴퓨터, LCD모니터로 구성되어 있습니다. 전원:100V-AC를 2개로
접속하는 것으로 동작 가능합니다. 그 이외에 에어나 200V-AC 등의 큰 동력은 일체 필요 없습니다.