Product
Introduction
Laser Annealing(IGBT)
Product Inquiry
SWA-90GD
SUMITOMO SWA-90GD는 고성능 레이저 어닐링 장비로 반도체 및 전자 디바이스 제조에서 정밀한 가열과 냉각을 통해 재료의 특성을 최적화합니다.
- Feature
- 고정밀 레이저를 사용하여 재료의 온도를 정확하게 제어할 수 있어, 재료의 물리적 및 전기적 특성을 최적화합니다.
- 빠른 처리 속도로 대량 생산 환경에서 효율적으로 사용될 수 있으며, 생산성을 크게 향상시킵니다.
- 레이저 강도와 위치를 정밀하게 조절하여 재료 표면에 균일한 가열을 보장해 높은 품질의 결과물을 제공합니다.
- 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널, 태양광 셀 등 다양한 재료와 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
- 직관적인 사용자 인터페이스와 고도의 자동화 기능으로 작업자의 부담을 줄이고 작업 효율을 높입니다.
Detailed Specification
Green Laser Annealing
Laser anneal은 레이저를 사용하여 재료의 특정 부분을 빠르고 정밀하게 가열한 후 급속히 냉각시키는 공정입니다.
이 기술은 반도체 산업에서 불순물 확산과 재결정화를 제어하여 재료의 전기적 특성을 개선하는 데 널리 사용됩니다.
SWA-90GD
Deep activation과 Double Pulse process로 대응한 고성능 Laser anneal 장치입니다.
지속적인 Energy 안정성, Maintenance free, Compact 설계 장비로 반도체 분야의 차세대 Process 개발에 기여합니다.
- Deep activation
- Activation up to 7μm is possible.
- High pulse energy stability
- Equipped with energy feedback function. Achieved in-plane uniformity σ<=1%.
- Double pulse control further controls temperature distribution and time in the depth direction
- Optimization of annealing process is possible even under temperature constraints.
- Maintenance-free solid-state laser enables production at high operating rates
- Compared to gas lasers, running costs can be significantly reduced.
- Compact laser oscillator
- It is possible to save space in the equipment installation area.
- 70μmt thin wafer transfer