Product
Introduction

이미지
Wheel,Pad

비트리파이드 다이아몬드 Wheel

비트리파이드 다이아몬드 Wheel은 다이아몬드 입자가 포함된 연마 휠로, 고급 반도체 소재인 실리콘 카바이드나 갈륨질화물을 효과적으로 연마할 수 있습니다.

Feature
마모량 저감
안정적인 연속 가공가능
손상 깊이 저감
Product Inquiry

Detailed Specification

VMH Wheel

VMH Wheel은 고밀도 다이아몬드 입자를 사용하여 반도체 재료인 실리콘 카바이드와 같은 어려운 연마 소재를 효과적으로 연마할 수 있는 연마 도구입니다.
이 도구는 웨이퍼의 표면 품질을 높이고, 연마 과정에서의 정밀도와 일관성을 유지하는 데 중요한 역할을 합니다.

비트리파이드 다이아몬드 Wheel

비트리파이드 다이아몬드 Wheel은 내열성, 내마모성, 연삭성이 뛰어나며, 정밀가공에 적합합니다. 기공이 많아 냉각 효과가 우수합니다.
비트리파이드 다이아몬드 Wheel은 CBN Wheel 로도 많이 사용되며, 정밀한 가공이 가능합니다.

주축회전수 2,500 rpm S.O. 10 sec
테이블 회전수 300 rpm Slow up 0.3 ㎛ / sec 60 sec
이송 속도 0.3 ㎛/s 연삭수 시수
연마대 10 ㎛ 유량 5.0 L/min
평면연삭공정 (황삭)
숫돌 입자 SD
입도 8000방
치수 Wheel 외경 D(mm) 숫돌 재료층의 폭 W(mm)
200 ~ 300 3 ~ 4
형상 CUP 형태의 Wheel
6inch

완성

8inch

완성

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